HEIDENHAIN海德漢光柵尺HEIDENHAIN傳感器，HEIDENHAIN海德漢敞開式直線光柵尺 2007年5月 敞開式直線光柵尺 直線光柵尺測量直線軸位置時不存在任何 敞開式直線光柵尺設計用于需要高精度測 機械結構 附加的機械傳動元件。因此，它能消除以 量的機床和系統。典型應用包括： 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵 下潛在誤差源： • 半導體工業的測量和生產設備 尺和掃描頭，光柵尺和掃描頭間無機械 • PCB電路板組裝機 接觸。 • 由于滾珠絲杠溫度特性導致的位置誤差 • 超精密機床，例如加工光學元件的金剛 • 反向誤差 石刀具車床，加工磁盤的端面車床和加 敞開式直線光柵尺的長光柵直接固定在安 • 滾珠絲杠螺距誤差導致的運動特性誤差 工鐵氧體元件的磨床 裝面上。安裝面的平面度直接影響直線光 • 高精度機床 柵尺精度。 因此，直線光柵尺已成為高精度定位和高 • 測量機和比較儀，測量顯微鏡和其它精 速加工*的條件。 密測量設備 • 直接驅動 其它樣本還有 • 帶內置軸承角度編碼器 • 無內置軸承角度編碼器 本樣本是以前樣本的替代版，所有以前 • 旋轉編碼器 版本均不再有效。訂購HEIDENHAIN海德漢伺服驅動用編碼器 司的產品僅以訂購時有效的樣本為準。 • NC數控機床用直線光柵尺 • 接口電子設備 有關相應的適用標準（ISO，EN等）， HEIDENHAIN海德漢數控系統 請見樣本中的特別標注。 歡迎索取，或訪問 。 目錄 概要 敞開式直線光柵尺 2 選型指南 4 技術特點 測量原理 測量基準 6 增量測量法 7 光電掃描 8 測量精度 10 可靠

HEIDENHAIN海德漢直線光柵尺在真空技術中的應用 “真空"是指全空的空間，無空氣也無任何其它氣體。 根據真空的純度，通常將真空分為低真空、中等真空、高度真空或超高真空。 真空技術在許多現代化生產和科研中發揮著重要作用。真空技術是電子工業和生物技術，薄膜沉積技術，新材料開發，醫藥以及化學分 析*的技術。 真空應用對零部件提出嚴格的要求，當然也影響到定位應用的編碼器。海德漢針對高真空和超高真空應用特別設計的直線光柵尺能滿足 這些要求，措施包括： • 適應真空應用的PCB，黏膠和漆料，以減少氣體析出 • 通氣的空腔，縮短抽真空時間 • 耐高溫，支持較高的加熱溫度 • 無磁鐵材料，提高過程可靠性 • 超凈車間生產，確保高清潔程度 真空等級 真空 壓力， 高度， 平均自由行程， 時間， 當空氣被排出封閉的空間，空氣將變得稀 單位mbar 單位km 單位m 單位s 薄，結果是壓力降低：產生真空。封閉的 空間中的空氣量越少，即壓力越小，真空 海拔高度 兩個氣體分子無碰撞 顆粒覆蓋表面的時間 度越高。真空度分為四級。空氣壓力低于 1 mbar是低真空；空氣壓力低于1 bar是中 +3 –5 –5 低 10 至1 < 50 < 10 < 10 等真空。真空度低于0.001 mbar為高真空， 達到或低于0.000 000 1 mbar為超高真空。 –3 –5 – 1 –5 -2 中等 1至10 50至100 10 至10 10 至10 真空應用 -3 -7 -1 +3 -2 +2 如果一個封閉的空間中不允許任何異物， 高 10 至10 100至500 10 至10 10 至10 沒有空氣，因此也沒有任何懸浮顆粒，就 -7 +3 必須是真空環境。有些情況需要在真空中 超高 < 10 > 500 > 10 > 100 進行尺寸測量，例如需要檢查亞微米級的 超精細結構或需要切分和檢查顆粒時。直 線光柵尺和角度編碼器在真空中的常見應 用包括電子顯微鏡、機械手、多路執行器、 XY工作臺、電子束顯微鏡，半導體工業的 圓晶檢查或測量同步加速器輻射的光譜儀 軸。 2015年5月 真空應用對編碼器的要求 通常在低真空和中等真空應用中，可用海 德漢的標準編碼器，工作溫度有一定限 制。高真空或超高真空應用的光柵尺需要 滿足一些特殊要求。 少量氣體逸出 真空應用中，必須盡可能減少氣體的逸 出，否則真空室的壓力將顯著升高。超高 真空應用中，所有部件都十分關鍵。例如， 部分塑料件的揮發性溶劑會逸出。印刷電 路板、黏膠或漆料中都含這類塑料，在超 真空應用中，必須嚴格避免這些材料。海 德漢采用的PCB和黏膠能滿足真空應用要 求。常用的漆料也用滿足真空應用要求的 材料取代。在超真空應用中，必須盡可能 壓縮零部件數量—接口和脈沖整形電子電 路必須在真空室外。為此，海德漢提供配 外部接口硬件的編碼器。對于高真空應用， 方法之一是將接口硬件安排在真空室內。 空腔的正確通風 要產生真空，必須排出封閉空間內的空氣。 獲得所需低壓的時間被稱為“抽真空時 間"，該時間應盡可能短，以使真空系統 盡快開始工作。如果空腔中的空氣能很快 逸出，就能縮短抽真空的時間。為此，HEIDENHAIN海德漢編碼器外殼增加了空氣孔數量，打開 盲孔的螺紋孔，通氣孔直接打通到空腔 中。 無鐵磁材料 根據真空腔中進行的操作，編碼器中的部 分材料可能不允許使用。鐵磁材料不允許 用在檢查微電子電路的電子束顯微鏡中。 為此，海德漢真空應用的編碼器無磁性材 料。 耐高溫 為縮短抽真空時間和獲得較高真空度，真 空腔需要加熱到100 °C甚至更高的溫度。

HEIDENHAIN海德漢光柵尺HEIDENHAIN傳感器，HEIDENHAIN海德漢敞開式直線光柵尺 2016年4月 敞開式直線光柵尺 直線光柵尺測量直線軸位置，測量期間沒 敞開式直線光柵尺設計用于超高測量精度 機械結構 有任何其它機械傳動件。因此，它能消除 的機器和系統。典型應用包括： 敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼光柵尺 以下潛在誤差源： • 半導體工業的測量和生產設備 帶和讀數頭，光柵尺和讀數頭間無機械接 • 滾珠絲杠溫度特性導致的定位誤差 • PCB電路板組裝機 觸。 • 反向誤差 • 超精密機床，例如加工光學器件的金剛 敞開式直線光柵尺的光柵尺帶固定在安裝 • 滾珠絲杠螺距誤差導致的運動特性誤差 石刀具，加工磁盤的端面車床和加工鐵 面上。因此，安裝面的平面度是高精度直 氧體元件的磨床 線光柵尺應用的基礎條件。 因此，直線光柵尺是高精度定位和高速加 • 高精度機床 工機床*的基礎技術手段。 • 測量機和比較儀、測量顯微鏡和其它精 密測量設備 • 直驅電機 以下信息 • 內置軸承角度編碼器 • 無內置軸承角度編碼器 本樣本是以前樣本的替代版，所有 • 模塊式磁柵角度編碼器 以前版本均不再有效。 • 旋轉編碼器 訂購海德漢公司的產品僅以訂購時 • 伺服驅動編碼器 海德漢編碼器接口樣本，ID 1078628 -有效的樣本為準。 • NC數控機床用直線光柵尺 xx，提供全部可用接口的全面說明和一 • 接口電子電路 般電氣信息。

HEIDENHAIN海德漢光柵尺型號舉例：

　　HEIDENHAIN海德漢封閉式光柵尺：LC 495、LC 485、LC 495 M、LC 195 S、LC 115 、LC 195 F、LC 211、LF 485、LF 185、LS 477、LS 187、LB 382 、LB 382、LS 328 C、LS 688 C、LS 1679

　　HEIDENHAIN海德漢敞開式光柵尺：LIC 4193F、LIC 4115、LIC 4197M、LIC 4199P、LIC 2117、LIC 2197P、LIC 2119、LIC 2199M、LIP 382、LIP 281、LIP 581、LIP 471、LIF 481、LIDA 473、LIDA 475、LIDA 487、LIDA 489、LIDA 277

德國HEIDENHAIN用于數控機床的海德漢直線光柵尺幾乎適用于任何應用。它是所有進給軸為伺服控制環模式的機器和設備的*，例如銑床、加工中心、鏜床、車床和磨床。 直線光柵尺的動態性能優點，允許的運動速度高，沿測量方向的加速性能使其不僅能滿足常規軸高動態性能要求，也能滿足直接驅動電機的高動態性能要求。緊湊外殼的直線光柵尺設計用于安裝空間有限的地方。 如果測量長度較大和加速負荷較大，可能需要使用安裝板或固定件。HEIDENHAIN標準外殼直線光柵尺，HEIDENHAIN標準外殼直線光柵尺突出特點是結構堅固、抗振能力強和測量長度大。讀數頭通過一個斜板連接安裝架，因此允許垂直安裝和水平安裝，并具有相同的防護等級。

HEIDENHAIN海德漢源自威廉·海德漢于1889年在德國柏林創建的金屬蝕刻工廠。 這家工廠生產模板，標識，刻度尺和標尺。 二戰期間公司被毀，威廉·海德漢之子在地處德國特勞恩羅伊特創建約翰內斯·海德漢博士公司（DR. JOHANNES HEIDENHAIN）。 初的產品也是刻度尺和零售用的計價秤。 不久后開始生產機床的光學位置測量系統。 六十年代初期開始轉向生產光電掃描的直線光柵尺和角度編碼器。 這些發展促成了制造業中許多機器和設備的自動化。七十年代中期以后，海德漢公司已成為機床數控系統和驅動系統的重要制造商。

　　——自公司創建伊始，HEIDENHAIN海德漢一直秉持注重技術發展之路。 為保持公司持續發展和*地位，1970年約翰內斯?海德漢博士將其持有的公司股份轉入基金會。 這使今天的海德漢公司可投入大量資金進行研發。

　　——今天的HEIDENHAIN海德漢公司已在全球49個國家和地區設有辦事機構，絕大多數是全資的子公司。銷售工程師和維修技術人員可以為您提供技術信息和進行現場的服務。

　　——同時，HEIDENHAIN海德漢的高質量標準是經過ISO 9001質量體系和德國標準服務(DAkkS)針對長度和角度檢查工序認證的。另一方面，超長的產品壽命，可再利用的設計理念，對于資源的小心仔細利用和有效化使用能源都是基于ISO 14001標準的。

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